水晶振動子マイクロバランス(QCM)測定システム

　水晶振動子表面に析出或は吸着物質により、水晶振動
子の共鳴振動周波数が減少する。その変化を測定するこ
とにより、表面におけるナノグラム程度の質量変化をそ
の場で計測できる

k = -17 ng/Hz cm2

(AT-カット、5MHz)

金電極

ATカット水晶振動子

水晶振動子の構造

（側面図）